Processen specialgas som används i TFT-LCD-tillverkningsprocessen CVD-avsättningsprocessen: silan (S1H4), ammoniak (NH3), fosfor (pH3), skratt (N2O), NF3, etc., och förutom processprocessen Hög renhet väte och högrent kväve och andra stora gaser.Argongas används i sputteringsprocessen, och sputterfilmsgasen är huvudmaterialet för sputtering.För det första kan den filmbildande gasen inte reageras kemiskt med målet, och den mest lämpliga gasen är en inert gas.En stor mängd specialgas kommer också att användas i etsningsprocessen, och den elektroniska specialgasen är mestadels brandfarlig och explosiv, och den mycket giftiga gasen, så kraven på gasvägen är höga.Wofly Technology är specialiserat på design och installation av transportsystem med ultrahög renhet.
Specialgaser används främst inom LCD-industrin för att filma och torka processer.Den flytande kristallskärmen har en mängd olika klassificeringar, där TFT-LCD är snabb, bildkvaliteten är hög och kostnaden minskas gradvis och den mest använda LCD-tekniken används för närvarande.Tillverkningsprocessen för TFT-LCD-panelen kan delas in i tre huvudfaser: frontmatrisen, mediumorienterad boxningsprocess (CELL) och en monteringsprocess efter steget.Den elektroniska specialgasen appliceras huvudsakligen på filmbildnings- och torkningssteget i den tidigare arrayprocessen, och en SiNX icke-metallfilm och en gate, source, dränering och ITO deponeras respektive, och en metallfilm som en grind, source,drainandITO.
Kväve / syre / argon rostfritt stål 316 halvautomatisk växlingsbar gasstyrpanel
Posttid: 2022-jan-13