Teknologilösningar för gasleveranssystem med hög renhet för halvledarprocesser

Gasrörsteknik med hög renhet är en viktig del av gasförsörjningssystem med hög renhet, som är nyckeltekniken för att leverera den nödvändiga gasen med hög renhet till användpunkten och fortfarande upprätthålla den kvalificerade kvaliteten; Gasrörsteknik med hög renhet inkluderar korrekt utformning av systemet, valet av beslag och tillbehör, konstruktion och installation och testning. Under de senaste åren har de allt stränga kraven på renheten och föroreningsinnehållet i högrenas gaser i produktionen av mikroelektronikprodukter som representeras av storskaliga integrerade kretsar gjort att rörtekniken för högrenas gaser alltmer berörda och betonade. Följande är en kort överblick över gasledningar med hög renhet från materialvalof Konstruktion, samt acceptans och daglig ledning.

Typer av vanliga gaser

Klassificering av vanliga gaser inom elektronikindustrin：

Gemensamma gaser（Bulkgas）: väte (h₂₎, kväve (n₂), syre (O₂), argon (a₂), etc.

Specialgaserär sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,Hcl,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, Sih2cl₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,Clf₃ ,Co,C₂F_6, N2o,F_2,Hf,Hbr sf₆…… etc.

De typer av specialgaser kan i allmänhet klassificeras som frätandegastoxiskgas, brandfarliggas, brännbargasinertgas, etc. De vanligt använda halvledargaserna klassificeras vanligtvis enligt följande.

(i) frätande / giftiggas: Hcl, bf₃, Wf₆, HBR, SIH₂Cl₂, Nh₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃…etc.

(ii) Brandfarlighetgas: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, SIH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,Ch₃F, co ... etc.

(iii) brännbarhetgas: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃... etc.

(iv) inertagas: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, Ne, kr, han ... etc.

Många halvledargaser är skadliga för människokroppen. I synnerhet några av dessa gaser, till exempel SIH₄ spontan förbränning, så länge en läcka kommer att reagera våldsamt med syre i luften och börja brinna; och Ash₃Mycket giftigt, varje litet läckage kan orsaka risken för människoliv, det är på grund av dessa uppenbara faror, så kraven för systemdesignens säkerhet är särskilt höga.

Applikationens omfattning av gaser  

Som ett viktigt grundläggande råmaterial inom modern industri används gasprodukter i stor utsträckning, och ett stort antal vanliga gaser eller specialgaser används i metallurgi, stål, petroleum, kemisk industri, maskiner, elektronik, glas, keramik, byggnadsmaterial, konstruktion, livsmedelsbearbetning, medicin och medicinska sektorer. Tillämpningen av gas har en viktig inverkan på högtekniken för dessa fält i synnerhet och är dess oumbärliga råmaterialgas eller processgas. Endast med behov och marknadsföring av olika nya industrisektorer och modern vetenskap och teknik kan gasindustrins produkter utvecklas genom språng när det gäller variation, kvalitet och kvantitet.

Gasapplikation inom mikroelektronik och halvledarindustri

Användningen av gas har alltid spelat en viktig roll i halvledarprocessen, särskilt halvledarprocessen har använts allmänt i olika branscher, från den traditionella ULSI, TFT-LCD till den nuvarande mikromekaniska industrin (MEMS), som alla använder den så kallade halvledarprocessen som tillverkningsprocess. Gasens renhet har en avgörande inverkan på prestandan hos komponenter och produktutbyten, och säkerheten för gasförsörjningen är relaterad till personalens hälsa och säkerheten för anläggningens verksamhet.

Betydelsen av högriktad rörledningar i gastransport med hög renhet

I processen med smältning och tillverkning av rostfritt stål kan cirka 200 g gas absorberas per ton. Efter bearbetning av rostfritt stål absorberade inte bara ytan klibbig med olika föroreningar, utan också i dess metallgitter, en viss mängd gas. När det finns luftflöde genom rörledningen, absorberar metallen denna del av gasen kommer att återinträda i luftflödet och förorenar den rena gasen. När luftflödet i röret är ett diskontinuerligt flöde, adsorrar röret gasen under tryck, och när luftflödet slutar passera, bildar gasen som adsorberas av röret ett tryckfall för att lösa, och den upplösta gasen kommer också in i den rena gasen i röret som föroreningar. Samtidigt upprepas adsorptionen och upplösningen, så att metallen på rörets inre yta också producerar en viss mängd pulver, och dessa metalldammpartiklar förorenar också den rena gasen inuti röret. Denna egenskap hos röret är avgörande för att säkerställa renheten hos den transporterade gasen, vilket inte bara kräver en mycket hög jämnhet hos rörets inre yta, utan också en hög slitmotstånd.

När gasen med stark frätande prestanda används måste korrosionsbeständiga rostfritt stålrör användas för rörledningar. Annars kommer röret att producera korrosionsfläckar på den inre ytan på grund av korrosion, och i allvarliga fall kommer det att finnas ett stort område med metallstrippning eller till och med perforering, som kommer att förorena den rena gasen som ska fördelas.

Anslutningen av högren och högrenhetsgasöverföring och distributionsrörledningar med stora flödeshastigheter.

I princip är alla svetsade, och de rör som används måste inte ha någon förändring i organisationen när svetsning appliceras. Material med för högt kolhalt utsätts för luftpermeabiliteten för de svetsade delarna vid svetsning, vilket gör den ömsesidiga penetrationen av gaser inom och utanför röret och förstör renheten, torrheten och renligheten i den överförda gasen, vilket resulterar i förlusten av alla våra ansträngningar.

Sammanfattningsvis är det nödvändigt att använda en speciell behandling av rostfritt stålrör, för att göra hög-rop-rörledning, för hög rostfritt stålrör, för att göra hög renhets rörledningssystem (inklusive rörledningar, besättningsledningar (inklusive rörledningar (inklusive rörledningar, rörelser, ventiler, VMB, VMP) i rostfritt stål.

Allmänt koncept för ren teknik för överföring och distributionsrörledningar

Mycket ren och ren gasöverföring med rörledningar innebär att det finns vissa krav eller kontroller för tre aspekter av gasen som ska transporteras.

Gasrenhet: Innehållet av föroreningsatmosfär i GGAS -renheten: Innehållet av föroreningsatmosfär i gasen, vanligtvis uttryckt som en procentandel av gasrenhet, såsom 99.9999%, uttryckt också som volymförhållandet av föroreningsatmosfärinnehåll PPM, PPB, PPT.

Torrhet: Mängden spårfuktighet i gasen, eller mängden som kallas våthet, vanligtvis uttryckt i termer av daggpunkt, såsom atmosfärisk tryck daggpunkt -70. C.

Renlighet: Antalet förorenande partiklar som finns i gasen, partikelstorleken på um, hur många partiklar/m3 att uttrycka, för tryckluft, uttrycks vanligtvis också i termer av hur många mg/m3 av oundvikliga fasta rester, som täcker oljehalten.

Förorenande storleksklassificering: förorenande partiklar, hänvisar främst till rörledningsscouring, slitage, korrosion som genereras av metallpartiklar, atmosfäriska sotpartiklar, såväl som mikroorganismer, fager och fuktinnehållande gaskondensationsdroppar, etc., beroende på storleken på dess partikelstorlek är i

a) Stora partiklar - partikelstorlek över 5μm

b) Partikel- Materialdiameter mellan 0,1 um-5μm

c) Ultra-mikropartiklar-partikelstorlek mindre än 0,1 um.

För att förbättra tillämpningen av denna teknik, för att kunna perceptuell förståelse av partikelstorlek och μM -enheter, tillhandahålls en uppsättning specifik partikelstatus för referens

Följande är en jämförelse av specifika partiklar