Produktionsprocessen för elektroniska specialgaser inkluderar flera processer som syntes, rening, fyllning, analys och testning, blandning och proportionering. För att uppfylla tillverkningskraven nedströms halvledar för renhet och föroreningsinnehåll är reningsprocessen mycket viktig. Beroende på sammansättningen av uppströms syntesgas eller rågas utförs låg temperaturdestillation eller flerstegsrening.
Krav med hög renlighet
Beredningsprocessen för elektroniska specialgaser kan delas upp i två huvudsakliga block av uppströms syntesberedning och rening, som tillhör den kemiska produktionsprocessen. Storleken på produktionsrörledningen är stor och det finns inget speciellt krav på renlighetsnivå. Efter rengöring av nedströms är produkten fylld med gas och blandas för beredning. Produktionsrörledningen är liten och har krav på renlighetsnivå. Den måste uppfylla standardspecifikationen för tillverkningsprocessen för halvledar.
Krav med höga tätning
På grund av deras kemiska aktivitet ställer elektroniska specialgaser också höga krav på material och tätning av produktionsprocesssystemet. Precis som kraven i halvledartillverkning förhindrar det gränssnittsläckage orsakat av införandet av föroreningar eller korrosion av specialgaser. Systemet kan också användas för att förhindra införandet av föroreningar eller läckage av gränssnitt orsakat av korrosion av speciella gaser.
Högkvalitativa stabilitetskrav
Kvaliteten på elektroniska specialgaser inkluderar ett antal indikatorer som renhet och föroreningspartikelinnehåll. Varje förändring i indikatorerna kommer att påverka resultaten från tillverkningsprocessen nedströms halvledar. För att säkerställa konsistensen för de elektroniska specialgasproduktindikatorerna är därför beredningsprocesssystemet för att kontrollera indikatorernas stabilitet mycket viktigt.
På grund av den kemiska aktiviteten och kvalitetskraven för EGP måste produktionssystemet för EGP -beredning, särskilt nedströmsreningssystemet, uppfylla kraven i högrenhetsmaterial, hög tätning, hög renlighet och högkvalitativ konsistens, och konstruktionen av konstruerade komponenter måste uppfylla standarderna för halvledartillverkningsindustrin.
Det vi vanligtvis hänvisar till som ”hög renhet” är teoretiskt definitionen av renheten hos ett ämne, såsom kemikalier med hög renhet, kemikalier med hög renhet, etc. Processsystem eller processsystemkomponenter som tillämpas på höga renhetsämnen benämns också hög renhet, såsom högenhetssystem och högenhetsventiler. Elektroniska specialgasberedningssystem kräver applicering av hög renhet, ventiler och andra fluidkomponenter, dvs. beslag och ventiler som bearbetas med hög renhetsmaterial och rena tillverkningsprocesser och är strukturerade för enkel rensning och rengöring. Med hög tätningsprestanda. Dessa vätskekomponenter är utformade för att möta processflödesvägen för applikationen med hjälp av teknik- och konstruktionskraven i halvledarindustrin.
Rörledningar med hög renhet
VRCR -metallpackning Ansiktsförbindelser och automatisk styrningssvetsanslutningar används i stor utsträckning i krävande krav på fluidsystemets renhetsprocess på grund av förmågan att uppfylla både smidig övergång av flödesvägen vid anslutningen, ingen stagnationszon och hög tätningsprestanda. VCR -anslutningar utgör en smal yttätning genom att extrudera en relativt mjuk metallpackning. Upprepningsbar och konsekvent anslutning och tätningsprestanda säkerställs varje gång den deformerade packningen tas bort och bytas ut.
Rören svetsas med ett automatiskt orbitalsvetssystem. Röret skyddas av gas med hög renhet inifrån och ut. Volframelektroden roterar längs banan för högkvalitativ svetsning. Hela automatiserad orbitalsvetsning smälter röret utan att införa andra material, att uppnå en högkvalitativ svets genom att upprepade gånger kontrollera tunnväggig rör är svårt att uppnå med manuell svetsning.
VCR Metal Packning Face Seal Connection
Automatisk omloppssvetsanslutning av rör
Ventiler med hög renhet
Den kemiska aktiviteten hos brandfarliga, explosiva, frätande och toxiska elektroniska specialgaser ställer höga krav på tätningen av ventilen. För att förbättra tätningstillförlitligheten, kravet på förpackningslösa ventiler för att förhindra yttre läckage, det vill säga växling av ventilstammen och ventilkroppen mellan tätningen med användning av metallbälgen eller metallmembran, för att eliminera läckage på grund av nötning och förpackning av tätningsdeformation. Bälg-tätade och membranstätade ventiler används ofta i processsystem för applikationer med hög renhet på grund av den större tillförlitligheten hos tätningarna och den enklare rengörings- och reningsbytet av ventilinterallerna.
Bälgtätade ventiler är en förpackningslös nålventilkonstruktion som möjliggör långsam öppnings- och flödesreglering. Används för elektronisk specialgasfyllning med säkerhetsflödeskrav eller på föregångarskällflaskor med höga säkerhetskrav. All-metallstamspetstätningarna möjliggör extremt låga driftstemperaturer och används för kryogen kondensering av elektroniska specialgaser i färdiga produkttankar efter kryogen destillation för rörledningar.
Springless membran tätningsventil är en 1/4 ″ snap-open-ventil för användning som en automatiskt kontrollerad växlingsventil vid leveransrör. De används ofta i ultralat-högtryck, applikationer med hög renhet på grund av deras enkla interna flödesväg, liten inre volym och enkel rensning och ersättning.
Membranstätade ventiler som stängs via stamspetsen kan öppnas långsamt och användas vid högre driftstryck än icke-sprutade membranstätade ventiler. De används allmänt på högtryckselektronisk specialgasfyllning eller föregångare källflaskor.
Den sekundära tätningsventilen kan inte bara användas i ultralåga temperaturprocesssystem vid -200 grader, utan förhindrar också läckage av farliga medier i atmosfären. Används vanligtvis för mycket farliga elektroniska specialgaser, såsom silanfyllningssystem.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med över 10 års erfarenhet av leverans av industriella och specialgaser, material, gasförsörjningssystem och gassteknik för halvledaren, LED, DRAM, TFT-LCD-marknader, kan vi ge dig nödvändiga material för att driva dina produkter till framkanten av branschen. Vi kan inte bara leverera ett brett utbud av ventiler och beslag för elektroniska specialgaser för halvledare, utan vi kan också utforma gasledningar och utrustningsinstallation för våra kunder. Om du har några behov i detta område, vänligen kontakta oss på 27919860.
Posttid: Jul-19-2023