Med den blomstrande utvecklingen av halvledarindustrin har högre krav lagts fram för sina stödprojekt. Tillförseln av specialgaser har inte bildat ett effektivt system, och problemen med röriga cylindrar, kaotisk hantering och blandning av oförenliga gaser är mer allvarliga, vilket i hög grad påverkar säkerheten för gasförbrukning. Så hur man hanterar gasvansgas i det speciella gasledningsprojektet? Idag personalen på Shenzhen Wofei Technology Co:
Speciell gasvansgasbehandling
Specialgaser om hälsa och miljö kommer att ge stor skada, hur man hanterar specialgasvansgas, med vilken utrustning, här kommer att bli en djupgående introduktion.
Status för specialgasvansgaser
Svansgas finns oundvikligen som ett derivat av det speciella gassystemet. Tidigare, i många högskolor och universitet, på grund av laboratoriagasförbrukningen är inte stor, är ägaren till byggenheten inte helt medveten om svansgasutsläppsproblemet, med fler halvledarfabriker som dyker upp, produktionen av specialgasutsläpp av gassvansar mer och mer uppmärksamhet. Då hur man ska ladda ut, hur man släpper ut har blivit ett problem framför många användare.
Behandlingsmetoden för svansgasutsläppsbehandlingsanordningen för det speciella gassystemet:
Typen av svansgasbehandlingsanordning bör väljas enligt egenskaperna hos den speciella gasen i avgaserna som ska behandlas, och inkompatibla specialgaser bör vara separat inställda på tallgasbehandlingsanordningen.
Svansgasbehandlingsanordningen bör ordnas nära GR, GC och annan speciell gasutrustning.
Metoden för svansgasbehandling för speciella gaser ska anta torrbehandlingsadsorption, våt skrubbning, uppvärmningsnedbrytningsbehandling, förbränningsbehandling, plasma -nedbrytningsbehandling, utspädningsbehandling och kombinationen av ovanstående metoder.
Inläggstid: maj-14-2024