Användningen av gaser i halvledarindustrin går tillbaka till början av 1950 -talet till 1960 -talet. Under halvledartillverkningsprocessen används gaser främst för att rengöra och skydda halvledarmaterial för att säkerställa deras renhet och kvalitet. Bland de mest använda gaserna är kväve och väte.
När halvledartekniken utvecklades och tillverkningsprocesserna fortsatte att förbättras ökade efterfrågan på gaser. År 1970 ökade vidareutvecklingen av halvledartillverkningsteknologi, applicering av gaser i viktiga processer såsom etsning och avsättning av tunna filmer, och fluoridgaser (t.ex. SF6) och syre blev vanligt förekommande etsning och avsättningsgaser. 1980 ökade ytterligare efterfrågan på gaser med utvecklingen av integrerade kretsar och ökningen i efterfrågan på dem. Väte användes i stor utsträckning i tillverkningsprocessen, inklusive väte -glödgning och väte -ångavsättning. Och från 1990 till nutid har efterfrågan på gaser med hög renhet och specifika gaser ökat när halvledarenhetsstorlekar har fortsatt att krympa och nya processer har införts. Till exempel kräver applicering av extrem ultraviolett litografi (EUV) användning av extremt hög renhetsgaser såsom kväve och väte.
Semiconductor gas continues to increase with the development of related products driven by more and more products are revealed, while the gas also belongs to the source of danger, so the products used for gas decompression, gas detection products and prevent gas leakage products have emerged such as pressure regulators, gas valves, gas pressure gauges, gas leakage detector, etc., and their roles are as follows:
Tryckreglerare: Tryckregulatorer är enheter som används för att kontrollera gastrycket. De består vanligtvis av en regulatorventil och en trycksensor. Tryckregulatorer tar en högtrycksgasingång och stabiliserar trycket på utgångsgasen genom att justera ventilen för att uppfylla specifika applikationskrav. Tryckreglerare används allmänt inom områden som industri, tillverkning och laboratorier, såväl som inom halvledarindustrin, bland annat för att säkerställa stabiliteten och säkerheten för gasförsörjningen.
Gasventiler: Gasventiler används för att styra flödet av gaser och för att stänga gaspassager. De har vanligtvis en på/av -funktion som öppnar eller stänger gasflödet. Det finns olika typer av gasventiler, inklusive manuella ventiler, elektriska ventiler och pneumatiska ventiler. De används ofta i gassystem för att kontrollera flödet, tryck och flödeshastighet för gaser.
Gastryckmätare: Gastryckmätare används för att mäta trycknivån för en gas. De installeras vanligtvis på kritiska platser i gassystem för att övervaka tryckförändringar och se till att de ligger inom säkra gränser. Gastryckmätare används allmänt inom industrin, tillverkning och laboratorier, och halvledarindustrin har också varit involverad.
Gasläckedetektorer: Gasläckedetektorer används för att detektera läckor i gassystem. De upptäckerNärvaron av gasläckor och låter ett larm så att snabba åtgärder kan vidtas för att förhindra läckageolyckor. Gasläckedetektorer används allmänt i industriella, kemiska, olje- och gasanvändningar, och halvledarindustrin har också varit involverad.
Posttid: 20 februari2024