Utrustning för tallgasbehandling kan hantera gaser som används i etsningsprocesser och kemiska ångavlagringsprocesser i halvledaren, flytande kristall och solenergiindustri, inklusive SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, och SO ON.
Avgasbehandlingsmetod
Enligt egenskaperna hos avgasbehandling kan behandlingen delas upp i fyra typer av behandling:
1. Vattentvätttyp (behandling av frätande gaser)
2. Oxidationstyp (hanterar brännbara och giftiga gaser)
3. Adsorption (enligt typen av adsorptionsmaterial för att hantera motsvarande avgaser).
4.Plasma -förbränningstyp (alla typer av avgaser kan behandlas).
Varje typ av behandling har sina egna fördelar och nackdelar samt dess tillämpningsområde. När behandlingsmetoden är vattentvätt är utrustningen billig och enkel och kan bara hantera vattenlösliga gaser; Applikationsintervallet för den elektriska tvättstypen är högre än för vattentvätttypen, men driftskostnaden är hög; Den torra typen har god behandlingseffektivitet och är inte tillämplig på gasflödet som är lätt att vara igensatt eller flödas.
Kemikalier och deras biprodukter som vanligtvis används i halvledarindustrin kan kategoriseras enligt deras kemiska egenskaper och deras olika intervall:
1. Brandfarliga gaser såsom SIH4H2, etc.
2. Toxiska gaser såsom ASH3, PH3, etc.
3. Frätande gaser såsom HF, HCL, etc.
4. Växthusgaser som CF4, NF3, etc.
Eftersom ovanstående fyra gaser är skadliga för miljön eller människokroppen, måste förhindra dess direkta utsläpp i atmosfären, så den allmänna halvledarverket är installerade med ett stort centraliserat avgasbehandlingssystem, men detta system är bara vattenskurande avgaser, så dess tillämpning är begränsad till den långväga vattenlösliga gaserna och kan inte hantera det ständigt-mjukt och subtle uppdelningen av den semikiska avgaserna. Därför är det nödvändigt att välja och matcha motsvarande avgasbehandlingsutrustning enligt gasegenskaperna som härrör från varje process för att lösa avgasproblemet på ett litet sätt. Eftersom arbetsområdet mestadels är borta från det centrala avgaserbehandlingssystemet, ofta på grund av gasegenskaper leder till kristallisation eller dammansamling i rörledningen, kan resulterar i tilltäppning av rörledningen som leder till gasläckage, och i allvarliga fall kan till och med orsaka en explosion inte säkerställa att platsens personalens arbetssäkerhet. Därför måste du i arbetsområdet konfigurera en liten avgasbehandlingsutrustning som är lämplig för procesgasens egenskaper för att minska den stillastående avgaser i arbetsområdet för att säkerställa personalens säkerhet.
Posttid: augusti-20-2023