1 | Max.arbetstryck 20,6 Mpa. |
2 | Max.arbetstemperatur 204 ℃ (Högtemperaturmiljö upp till 454 ℃, vid denna tidpunkt ersätts tätningsmaterialet med expanderad grafit) |
3 | Filtersystem Partikelföroreningar, gaser, vätskor är tillämpliga. |
4 | Rostfritt stål pulvermetallurgi sintrade filterfilter noggrannhet 2μm~40μm |
5 | Filterflöde 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter kan ändras. |
Produktegenskaper hos Filter
1 | Brett användningsområde, flödesområde från 15 till 300SL/min. |
2 | Den har god kompatibilitet med de flesta högrena halvledarprocessgaser. |
3 | 3 nanopartikelfiltreringskapacitet upprätthåller hög flödeseffektivitet och ultralitet tryckfall. |
4 | 5Ra elektropolerad yta kan förhindra inre föroreningar. |
5 | Baka med varmt kväve efter avjoniserat vatten för att uppfylla halvledarprocessstandarder. |
6 | 1000 nivåer dammfri aseptisk verkstadstillverkning, rengöring och förpackningsmiljö. |
7 | Testa för 100 % heliumläckage. |
Inlopp | Utlopp | |
1 | 1/8" rörkoppling | 1/8" rörkoppling |
2 | 1/4" rörkoppling | 1/4" rörkoppling |
3 | 3/8" rörkoppling | 3/8" rörkoppling |
4 | 1/2" rörkoppling | 1/2" rörkoppling |
5 | 6MM rörkoppling | 6MM rörkoppling |
6 | 8MM rörkoppling | 8MM rörkoppling |
7 | 10MM rörkoppling | 10MM rörkoppling |
8 | 12MM rörkoppling | 12MM rörkoppling |
9 | 1/8″ NPT hona | 1/8″ NPT hona |
10 | 1/4″ NPT hona | 1/4″ NPT hona |
11 | 1/4″ hane NPT | 1/4″ hane NPT |
12 | 3/8″ hane NPT | 3/8″ hane NPT |
13 | 1/2″ hane NPT | 1/2″ hane NPT |
Produktprestandaparametrar för filter
1 | Filtreringsnoggrannhet | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtreringseffektivitet | Avlägsningshastighet 99,99999 %≥0,0025 μm | |
3 | Nominellt flöde | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Filtersammansättning | filterelement | 316L/PTFE |
9 | hus | rostfritt stål 316L | |
10 | Arbetsvillkor | Maximalt inloppstryck | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maximalt differenstryck | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Maximal drifttemperatur | 430℃(inert gas) | |
13 | Heliumläckagehastighet | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Ytfinish | ≤Ra 5μin |